问题标题:
高温热解沉积法和化学气相沉积法有啥不同?
更新时间:2024-04-19 21:13:40
问题描述:

高温热解沉积法和化学气相沉积法有啥不同?

宋烨回答:
  气相沉积法化学气相沉积(CVD)是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料在PECVD和HDPCVD系统中有些方面还特别令人感兴趣是通过调节能量,偏压以及其它
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